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L3 公司投研頁 · 2026-06-15

至純科技

Company Research

至純科技 位於晶片與半導體層，當前研究入口聚焦 AI晶片與半導體 的產業鏈位置、財務質量、上下游約束與反證指標。A股 資料只作研究參考，不構成投資建議。

研究定位 晶片與半導體層

AI晶片與半導體

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1. 投資摘要

  • 至純科技是 A 股半導體溼法清洗裝置、高純工藝系統、電子大宗氣體與晶圓廠專業服務供應商；AI 相關性不是直接賣 GPU/ASIC，而是通過先進邏輯、儲存與 12 英寸晶圓廠擴產，傳導到清洗裝置、高純化學品/特氣系統和運營期氣體服務需求。13
  • 2025 年營收 28.55 億元，年增率 -20.81%；歸母淨利 -7.77 億元，扣非歸母淨利為負，主因是系統整合專案執行週期拉長、裝置在手訂單交付不及預期、費用與減值準備增加。1
  • 2026Q1 營收 6.21 億元，年增率 -14.70%；歸母淨利 -0.79 億元；經營活動現金流量淨額 -0.30 億元，較上年同期 -0.62 億元收窄，說明經營質量修復剛開始，獲利端尚未驗證拐點。2
  • 訂單是本頁核心變數：2025 年新增訂單 25.34 億元處近年低位；公司 2026 年目標新增訂單 45-55 億元，其中製程裝置 8-12 億元，2026Q1 訂單 19.77 億元。15
  • 反證閾值：若 2026H1 新增訂單不能維持高位、製程裝置訂單全年低於 8 億元、應收賬款與存貨繼續擴張且現金流量未改善，則“高階溼法裝置放量 + 經營質量修復”的投資主線需要下修。12

2. 產業鏈位置

至純科技處在 AI 晶片製造鏈的前道裝置與晶圓廠基礎設施層，不直接設計或製造 AI 晶片。其價值來自三類環節：第一，至微科技提供 12 英寸溼法槽式與單片式清洗裝置，覆蓋擴散、光刻、刻蝕、離子注入、薄膜沉積等關鍵工序前後的晶圓表面清洗與溼法刻蝕；第二，高純工藝系統為晶圓廠輸送高純特氣、化學品、研磨液、前驅體等介質；第三，電子大宗氣體、駐廠服務與晶圓再生面向晶圓廠運營期，形成經常性服務入口。13

產業鏈對映為：上游是泵閥、流量控制器、感測器、機械手、耐腐蝕材料、精密加工件、軟體控制系統和電子材料；中游是至純科技的系統整合、清洗裝置和氣體供應；下游是國內 12 英寸晶圓廠、儲存廠、特色工藝廠與泛半導體客戶。AI 需求通過先進製程、高頻寬儲存、國產算力晶片與雲端端資本支出，先變成晶圓廠建設與產能爬坡，再轉化為裝置訂單、系統驗收和運營期耗材/氣體營收。15

3. AI 相關營收拆解（季度橋 + 公式）

公司沒有單列“AI 營收”，不能把全部半導體營收等同 AI。可追蹤口徑是“積體電路/12 英寸客戶訂單 + 製程裝置訂單 + 電子材料運營期營收”的 proxy。

口徑2024A2025A2026Q1公式 / 約束
集團營收36.05 億元28.55 億元6.21 億元公司揭露營業營收。12
泛半導體營收34.35 億元左右26.44 億元未單列揭露2025 泛半導體營收 264,355.85 萬元。1
裝置業務營收6.06 億元左右2.86 億元未單列揭露2025 裝置業務營收 28,569.77 萬元，年增率 -52.82%。1
電子材料營收1.64 億元左右2.69 億元未單列揭露2025 電子材料營收 26,886.86 萬元，年增率 +63.59%。1
AI proxy 訂單2024 新增訂單 55.77 億元；積體電路佔 84.55%2025 新增訂單 25.34 億元2026Q1 訂單 19.77 億元AI proxy = 12英寸/先進製程客戶訂單 × AI/HPC/儲存擴產相關性，不是財務口徑營收。31
2026 目標不適用不適用全年新增訂單 45-55 億元；製程裝置 8-12 億元公司經營目標，不構成業績承諾。15

4. 核心產品（含營收貢獻）

產品/平台AI 鏈條用途營收貢獻口徑狀態
單片式溼法清洗裝置先進邏輯、儲存與特色工藝關鍵清洗；適配 SPM、背面蝕刻、Pre clean、BEVEL 等裝置業務的一部分；2025 裝置業務營收 2.86 億元S300-D 平台 WPH 提升 30%；28nm 節點全工藝機臺開發完成。3
槽式溼法清洗裝置批次清洗、溼法刻蝕和成熟/特色工藝產線裝置業務的一部分公司稱 28nm 率先實現前中後段全工藝覆蓋。3
高溫硫酸 SPM 裝置去除光刻膠、有機物與金屬汙染，適合高階溼法場景未單列揭露2025 年報稱單機累計產量超過 100 萬片次；投資者記錄揭露 2025 年中超過 70 萬片次。13
高純工藝系統及支援裝置晶圓廠特氣、化學品、研磨液、前驅體供應基礎設施2025 系統整合營收 22.93 億元自主 SAFETRON 支援裝置業務量接近系統整合業務總量 40%，累計出貨超過 4.9 萬臺。1
電子大宗氣體12 英寸晶圓廠運營期穩定供氣2025 電子材料營收 2.69 億元國內首座完全國產化 12 英寸 28nm 對應大宗氣體供應工廠穩定執行，第二座大宗氣站 2024H1 開始供氣。13

5. 上游供應商 / 下游客戶

型別名稱/類別暴露投研處理
上游零部件泵閥、MFC、感測器、機械手、耐腐蝕腔體、控制軟體高階溼法裝置對精度、耐腐蝕、潔淨度和穩定性要求高關注本土供應鏈驗證速度和良率；公司把本土供應鏈建設列為 2026 重點。1
上游材料高純氣體、化學品、硫酸回收系統相關材料成本與交付安全影響裝置毛利和客戶稼動率電子材料和大宗氣站有望把一次性裝置訂單延伸為運營期營收。1
下游晶圓廠中芯國際、華虹公司、上海華力、長鑫科技、長江儲存、北電整合、燕東微、士蘭微、潤鵬半導體、H 系等2024 新增訂單中積體電路佔 84.55%，12 英寸客戶佔 88.46%客戶名單來自投資者關係記錄；營收確認仍以公告為準。3
客戶集中前五名客戶2025 前五名客戶銷售額 20.32 億元，佔年度銷售總額 71.19%高集中度有利於頭部客戶驗證放量，也放大單一客戶擴產節奏風險。1

6. 同業硬指標對比表

公司相關業務營收年增率毛利率現金流量/獲利質量客戶/業務集中技術代際估值/規模錨來源
至純科技2025 營收 28.55 億元；裝置業務 2.86 億元集團 -20.81%；裝置 -52.82%集團約 22.8%；裝置 15.84%2025 CFO -4.30 億元；歸母 -7.77 億元前五客戶 71.19%28nm 全工藝；SPM、FIN ETCH、單片磷酸推進2026-06-12 收盤 26.68 元，市值約 101 億元127
盛美上海 / ACM ResearchFY2025 revenue 9.013 億美元+15.2%Q1 2026 GAAP GM 46.4%Q1 2026 revenue 2.313 億美元，+34.2%清洗、電鍍、爐管等半導體裝置清洗裝置全球化客戶2026 revenue outlook 10.8-11.75 億美元89
北方華創2025 營收約 393.5 億元+30.9%2025 毛利率約 40.10%2026Q1 營收 103.23 億元、歸母 16.35 億元平台型裝置龍頭刻蝕、薄膜、清洗、熱處理等A 股裝置龍頭溢價10
中微公司2025 營收口徑約 123.8 億元；研發投入約 37.44 億元高增長未在本頁統一換算研發投入佔營收約 30.23%刻蝕、MOCVD、薄膜等先進刻蝕平台科創裝置核心龍頭11
芯源微2025 營收 19.48 億元+11.11%未在本頁統一換算2025 歸母 0.72 億元，年增率 -64.64%塗膠顯影、清洗等前道塗膠顯影/清洗小型裝置平台12

7. 護城河

  1. 工藝驗證壁壘：溼法清洗裝置處在晶圓製造關鍵工序前後，客戶更關注顆粒控制、金屬離子控制、均勻性、產能效率和長期稼動率；裝置通過驗證後，替換成本高。13
  2. 28nm 全工藝卡位：公司稱溼法裝置在 28nm 節點全部工藝機臺開發完成，全系列機臺均有訂單；在更先進製程節點，高溫硫酸、FIN ETCH、單片磷酸等機臺繼續推進交付和驗證。13
  3. 系統整合入口：高純工藝系統是晶圓廠建設期基礎設施，公司藉此積累客戶現場、介質輸送和工藝理解，再把裝置、電子材料和服務匯入客戶全生命週期。1
  4. 本土供應鏈建設：公司稱已基本實現從核心模組到功能單元再到元器件層的本土供應鏈培育和建設；在出口管制環境下，供應鏈可控性本身就是客戶選擇權重。3
  5. 運營期營收延伸：電子大宗氣體、晶圓再生和駐廠服務可以降低系統整合與裝置一次性交付的週期波動，但目前體量仍需繼續放大。1

8. 財務質量（近 4-6 季度）

期間營收歸母淨利CFO毛利率/費用質量判斷
2024A36.05 億元-1.36 億元-4.63 億元研發費用 2.67 億元追溯調整後獲利承壓，現金流量淨流出。1
2025A28.55 億元-7.77 億元-4.30 億元研發費用 3.34 億元；研發投入合計 3.51 億元，佔營收 12.28%營收下滑、費用與信用/資產減值導致虧損擴大。1
2025A 分產品系統整合 22.93 億元；裝置 2.86 億元；電子材料 2.69 億元未單列揭露未單列揭露系統整合毛利率 23.67%；裝置 15.84%；電子材料 21.04%裝置業務營收下降 52.82%，短期沒有體現高階裝置放量。1
2025 年末資產總資產 140.51 億元歸母權益 34.98 億元貨幣資金 10.06 億元負債合計 102.12 億元資產負債率約 72.68%，財務槓桿偏高。1
2026Q16.21 億元-0.79 億元-0.30 億元研發費用 0.58 億元；財務費用 0.74 億元現金流量年增率收窄，但存貨升至 37.17 億元，應收賬款 27.66 億元，週轉仍是壓力點。2

9. 業績傳導路徑

至純科技的業績傳導不是 AI 算力訂單 -> 晶片營收，而是：

AI/HPC/儲存需求 -> 國內晶圓廠擴產與國產替代 -> 高純系統/溼法裝置訂單 -> 設計、製造、安裝、聯調、驗收 -> 營收確認 -> 運營期電子材料、氣體、駐廠服務與備件復購

短期影響獲利的關鍵不是行業敘事，而是驗收和回款。系統整合業務單個專案規模變大、執行週期拉長，會推遲營收確認；裝置業務若只處於驗證和小批次交付階段，固定成本、研發費用和備貨會先進入報表。公司 2026 年的可驗證橋為：若全年新增訂單 45-55 億元兌現，且製程裝置 8-12 億元訂單中 SPM、FIN ETCH、單片磷酸等已驗證機臺轉為批次交付，則 2026-2027 年營收和毛利率有修復基礎；若訂單轉化慢，獲利仍會被研發、財務費用、應收賬款壞賬和存貨減值拖累。12

10. SOTP 估值表

估值只作為情景架構，不等同目標價。基準股本採用 2026Q1 報告股本 3.8296 億股；行情錨採用 2026-06-12 收盤 26.68 元、市值約 101 億元。27

情景系統整合營收製程裝置營收電子材料/服務營收EV/Sales 假設淨債務/調整權益價值對應股價
Bear22 億元3 億元3 億元系統 1.0x / 裝置 4.0x / 材料 2.0x約 52 億元約 -12 億元不適用
Base28 億元8 億元5 億元系統 1.5x / 裝置 8.0x / 材料 3.0x約 52 億元約 69 億元不折算每股
Bull35 億元12 億元7 億元系統 2.0x / 裝置 12.0x / 材料 4.0x約 52 億元約 190 億元不折算每股
淨債務/調整用年末負債結構、貨幣資金、應收賬款與存貨週轉風險作保守扣減。表中 Bear 出現負權益價值，不代表公司沒有價值，而是提示在高槓杆、虧損和現金流量未修復情況下，銷售倍數估值對執行風險高度敏感。當前約 101 億元市值更接近“裝置訂單恢復但尚未完全兌現”的中間狀態。127

11. 催化（帶時點）

  • [已發生] 2026-04-30：揭露 2025 年報，營收 28.55 億元、歸母虧損 7.77 億元，並說明裝置訂單交付不及預期、費用與減值增加。1
  • [已發生] 2026-04-30：揭露 2026Q1，營收 6.21 億元、歸母虧損 0.79 億元、經營現金流量淨流出 0.30 億元。2
  • [已發生] 2026-04-30：公司提出 2026 年新增訂單 45-55 億元、製程裝置訂單 8-12 億元的經營目標，且 2026Q1 訂單 19.77 億元。15
  • [追蹤] 2026H1 半年報：驗證 Q1 訂單能否延續、裝置業務營收是否從 2025 年低位恢復、應收和存貨是否繼續擴張。
  • [追蹤] 2026H2：SPM、FIN ETCH、單片磷酸等已驗證機臺是否出現批次交付，電子材料和大宗氣站是否繼續貢獻現金流量。

12. 核心風險（帶情景）

  • 訂單轉營收風險：若晶圓廠建設延期或驗收週期繼續拉長，2026 年高訂單可能無法在當年形成營收和現金流量，系統整合業務仍拖累獲利。1
  • 裝置放量風險：若製程裝置訂單低於 8 億元，或裝置毛利率仍停留在 2025 年 15.84% 附近，則國產高階溼法裝置的商業化進度低於預期。1
  • 客戶集中風險：2025 年前五大客戶佔銷售額 71.19%，若頭部客戶擴產節奏、付款審批或技術路線變化，公司營收與回款波動會被放大。13
  • 資產負債與現金流量風險：2025 年末資產負債率約 72.68%，2026Q1 存貨 37.17 億元、應收賬款 27.66 億元；若回款和庫存消化不及預期，壞賬、跌價和財務費用會繼續壓制淨利。12
  • 供應鏈和出口管制風險：公司 2024 年底被美國商務部工業和安全域性列入出口管制實體清單；若核心零部件國產化驗證慢，交付週期和毛利率可能承壓。36
  • 競爭風險：國內中低階清洗裝置同質化和價格競爭激烈，高階清洗裝置仍主要由外資品牌主導；若國際廠商或國內平台型裝置商加大價格競爭，公司訂單質量可能下降。3

13. 追蹤指標

頻率指標閾值來源
每季度新增訂單2026 全年 45-55 億元為公司目標；單季低於 8 億元需警惕公司公告 / 投關
每季度製程裝置訂單2026 全年 8-12 億元為公司目標公司公告 / 投關
每季度裝置業務營收與毛利率營收需顯著高於 2025 年 2.86 億元低位；毛利率需回到 20%+年報/半年報
每季度經營現金流量單季持續轉正或淨流出持續收窄為修復訊號現金流量量表
每季度應收賬款 + 存貨合計增速低於營收/訂單增速為健康訊號資產負債表
半年高階機臺驗證/批次交付SPM、FIN ETCH、單片磷酸從驗證走向批次公司公告 / 投關
半年電子材料與大宗氣站營收和現金流量貢獻持續提升年報/半年報

14. 最新事件

  1. [已發生] 2025 年 6-7 月：投資者關係記錄揭露 S300-D 平台、SPM 裝置進展、28nm 全工藝覆蓋、主要 12 英寸客戶和 2024 年訂單結構。3
  2. [已發生] 2026-04-30：公司揭露 2025 年報，營收 28.55 億元，年增率 -20.81%；歸母淨利 -7.77 億元。1
  3. [已發生] 2026-04-30：公司揭露 2026Q1，營收 6.21 億元，年增率 -14.70%；歸母淨利 -0.79 億元；CFO -0.30 億元。2
  4. [已發生] 2026-04-30：公司揭露 2026 年“提質增效重回報”方向，重點為高階清洗裝置批次放量、應收賬款回收和存量資產提效；全年新增訂單目標 45-55 億元。15
  5. [已發生] 2026-06-12：至純科技 A 股收盤 26.68 元，市值約 101 億元；由於 TTM 虧損，PE 參考意義弱，PB 和訂單兌現更關鍵。7

15. 來源

  • 來源：至純科技 2025 年年度報告 — 新浪財經公告映象 / 至純科技 — 2026-04-30 — file.finance.sina.com.cn/211.154.219.97:9494/MRGG/CNSESH_STOCK/2026/2026-4/2026-04-30/12289849.PDF
  • 來源：至純科技 2026 年第一季度報告 — 新浪財經公告映象 / 至純科技 — 2026-04-30 — file.finance.sina.com.cn/211.154.219.97:9494/MRGG/CNSESH_STOCK/2026/2026-4/2026-04-30/12289858.PDF
  • 來源：至純科技投資者關係活動記錄表 — 東方財富 PDF / 至純科技 — 2025-08-18 — pdf.dfcfw.com/pdf/H22_AN202508181729832916_1.pdf
  • 來源：至純科技 2025 年半年度報告 — 巨潮資訊 / 至純科技 — 2025-08-30 — static.cninfo.com.cn/finalpage/2025-08-30/1224621051.PDF
  • 來源：至純科技 2025 年業績承壓，2026 年新增訂單目標將翻倍至 45-55 億元 — 投資界 — 2026-04-30 — news.pedaily.cn/20260430/129012.shtml
  • 來源：Addition of Entities to and Revision of Entry on the Entity List — Federal Register / BIS — 2024-12-05 — www.federalregister.gov/documents/2024/12/05/2024-28270/addition-of-entities-to-and-revision-of-entry-on-the-entity-list
  • 來源：至純科技行情與市值 — Investing.com — 2026-06-14 accessed — cn.investing.com/equities/pnc-process-systems-co-ltd
  • 來源：ACM Research Reports Fourth Quarter and Fiscal Year 2025 Results — ACM Research IR — 2026-03 — ir.acmr.com/news-releases/news-release-details/acm-research-reports-fourth-quarter-and-fiscal-year-2025-results
  • 來源：ACM Research Reports First Quarter 2026 Results — StockTitan / ACM Research release — 2026-05 — www.stocktitan.net/news/ACMR/acm-research-reports-first-quarter-2026-3bbkh6alnsih.html
  • 來源：北方華創 2025 年報及 2026Q1 公開財務摘要 — 同花順 / 券商公告摘要 — 2026 — basic.10jqka.com.cn/002371/worth.html
  • 來源：中微公司 2025 年年度報告 — 新浪財經公告映象 / 中微公司 — 2026 — vip.stock.finance.sina.com.cn/corp/view/vCB_AllBulletinDetail.php?id=12046107&stockid=688012
  • 來源：芯源微 2025 年淨利年增率下降 64.64% — 財聯社 / 科創板日報 — 2026-04-17 — www.cls.cn/detail/2347750

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