InFO_oS(Integrated Fan-Out on Substrate)
3 秒看懂
一句話定義: 台積電開發的扇出型基板級封裝技術,用有機重佈線層(RDL)替代傳統矽中介層,實現多晶片高密度互連,定位介於標準 InFO 與 CoWoS 之間的效能-成本平衡點。
核心價值: 在不使用昂貴矽中介層的前提下,提供接近 CoWoS 水平的互連密度,適用於 HPC/AI 加速器的”價效比”封裝方案。
3 分鐘產業解釋
為什麼需要 InFO_oS?
AI 時代晶片的兩大矛盾:
- 計算需求指數增長 → 需要更大晶片面積、更多 HBM 堆疊
- 單晶片面積受光罩限制 → 必須走向多晶片封裝(chiplet)
傳統封裝方案的困境:
| 方案 | 優勢 | 侷限 |
|---|---|---|
| 標準 InFO | 成本低、成熟 | 互連密度不足,難以支援 HPC |
| CoWoS-S(矽中介層) | 最高互連密度 | 成本高、產能受限、中介層面積有上限 |
| InFO_oS | 成本適中、產能彈性更大 | 互連密度介於兩者之間 |
InFO_oS 的產業定位: 填補”標準 InFO 太弱、CoWoS 太貴”的中間地帶,為中高階 HPC、網路處理器、AI 推論晶片提供可負擔的先進封裝方案。
產業鏈角色
設計公司(AMD/NVIDIA/其他 HPC 設計商)
↓ 設計 + 先進封裝需求
台積電(TSMC)—— InFO_oS 技術持有者 + 主要製造商
↑
封裝裝置商 + 材料供應商(RDL 材料、光刻膠、模塑膠等)
15 分鐘專家深入
技術架構對比:InFO_oS vs CoWoS-S vs 標準 InFO
標準 InFO InFO_oS CoWoS-S
┌─────────┐ ┌─────────┐ ┌─────────┐
│ 晶片 │ │ 晶片 │ │ 晶片 │
└────┬────┘ └────┬────┘ └────┬────┘
│ │ │
┌────┴────┐ ┌────┴────┐ ┌────┴────┐
│ RDL 層 │ │ RDL 層 │ │ 矽中介層│
│(單層/少層)│ │(多層) │ │(高密度) │
└────┬────┘ └────┬────┘ └────┬────┘
│ │ │
┌────┴────┐ ┌────┴────┐ ┌────┴────┐
│ 有機基板│ │ 有機基板│ │ 有機基板│
└─────────┘ └─────────┘ └─────────┘
互連密度: 低 中高 最高
成本: 低 中 高
典型應用: 移動 SoC HPC/網路/AI推論 旗艦 AI 訓練 GPU
關鍵技術要素
1. RDL(Redistribution Layer,重佈線層)
- 核心作用: 在晶片與基板之間提供電氣互連路徑
- InFO_oS 特點: 採用多層 RDL 結構,線寬線距比標準 InFO 更精細(具體數值未充分揭露,行業估算在 2-5μm 級別,但未經官方確認)
- 材料: 通常為銅互連 + 低介電常數介質層
2. 無矽中介層(No Silicon Interposer)
- 對比 CoWoS-S: CoWoS 使用矽晶圓製造的中介層,通過 TSV(矽通孔)實現垂直互連,成本高且產能受矽中介層供應限制
- InFO_oS 策略: 通過扇出工藝在重構晶圓上建置高密度 RDL,然後再通過凸塊連線到有機基板,繞開矽中介層的產能瓶頸
- 權衡: 互連密度理論上低於矽中介層,但通過最佳化 RDL 設計可滿足多數 HPC 需求
3. 微凸塊(Micro-bump)與 C4 凸塊
- 晶片 → RDL 連線: 通常採用微凸塊,節距(pitch)遠小於傳統 BGA
- RDL → 基板連線: 可採用 C4 凸塊或類似結構
- 具體節距引數: 未充分揭露,需參考台積電官方技術文件
4. 封裝面積
- InFO_oS 設計用於支援比標準 InFO 更大的封裝面積
- 行業資訊表明可支援較大的多晶片配置(具體上限未公開確認)
與其他扇出技術的差異
| 技術變體 | 特徵 | 目標市場 |
|---|---|---|
| InFO(基礎) | 低成本、單 die 或 PoP | 移動裝置 |
| InFO_oS | 多晶片、高密度 RDL、無矽中介層 | HPC、網路、AI 推論 |
| InFO_LSI | 引入區域性矽互連(Local Silicon Interconnect) | 需更高互連密度的場景 |
| InFO_PoP | Package on Package | 移動 AP + DRAM |
技術原理
InFO_oS 封裝結構分解
┌──────────────────────────────────────────────────────────────────────┐
│ 頂層檢視(示意) │
│ │
│ ┌─────────┐ ┌─────────┐ ┌─────────┐ ┌─────────┐ │
│ │ Die 1 │ │ Die 2 │ │ HBM 1 │ │ HBM 2 │ │
│ │(邏輯晶片)│ │(邏輯晶片)│ │ │ │ │ │
│ └────┬────┘ └────┬────┘ └────┬────┘ └────┬────┘ │
│ │ │ │ │ │
│ ═════╪═════════════╪═════════════╪═════════════╪══════════════ │
│ │ RDL(多層重佈線層) │ │ │
│ ═════╪═════════════╪═════════════╪═════════════╪══════════════ │
│ │ │ │ │ │
│ ┌────┴─────────────┴─────────────┴─────────────┴────┐ │
│ │ 有機基板(Organic Substrate) │ │
│ └────────────────────────┬─────────────────────────┘ │
│ │ │
│ ┌────┴────┐ │
│ │ BGA 焊球 │ │
│ │(連線PCB)│ │
│ └─────────┘ │
└──────────────────────────────────────────────────────────────────────┘
製造流程概述(定性)
步驟 1: 晶圓製造 → 前道工藝完成
↓
步驟 2: 晶圓切割 → 單顆裸片(die)分離
↓
步驟 3: 裸片重構(Reconstitution)→ 將多顆 die 放置在臨時載板上
↓
步驟 4: 模塑封裝(Molding)→ 用環氧樹脂模塑膠固定 die,研磨露出 pad
↓
步驟 5: RDL 建置 → 在重構晶圓上沉積/圖案化多層金屬互連層
↓
步驟 6: 去除臨時載板 → 暴露 RDL 底部
↓
步驟 7: 凸塊製備 → 在 RDL 底部形成 C4 或類似凸塊
↓
步驟 8: 貼裝到有機基板 → 將扇出模組組裝到基板上
↓
步驟 9: 底部填充 + BGA 焊球 → 完成封裝
關鍵技術挑戰
1. 翹曲控制(Warpage Control)
- 多種材料(矽 die、RDL 介質、模塑膠)熱膨脹係數(CTE)不匹配
- 大面積封裝時翹曲問題更嚴重
- 需要精確的材料選擇和工藝引數最佳化
2. RDL 精度與良率
- 多層 RDL 需要高精度對準(alignment)
- 細線寬/線距對光刻和蝕刻工藝要求高
- 良率直接影響成本優勢
3. 熱管理
- HPC 晶片功耗高,封裝內熱路徑設計關鍵
- InFO_oS 需要在無矽中介層的前提下實現有效散熱
技術演進史
時間線(大致,基於公開行業資訊)
───────────────────────────────────────────────────────────────────────────→
2016 2018 2020 2022 2024
│ │ │ │ │
│ InFO 技術成熟 │ │ │
│ (Apple A 系列) │ │ │
│ │ │ │ │
│ │ InFO_oS 開始 │ │
│ │ 用於 HPC 場景 │ │
│ │ │ │ │
│ │ │ InFO 技術迭代 │
│ │ │ InFO_LSI 等變體 │
│ │ │ 出現 │
│ │ │ │ │
│ │ │ │ 先進封裝成為
│ │ │ │ AI 算力關鍵瓶頸
│ │ │ │ │
───────────────────────────────────────────────────────────────────────────→
驅動因素:
- 2016-2018: 移動裝置小型化需求 → InFO 技術成熟
- 2019-2021: HPC/AI 崛起 → 需要更大封裝、更多互連 → InFO_oS 發展
- 2022-2024: AI 訓練需求爆發 → CoWoS 產能緊張 → InFO_oS 成為補充選項
技術迭代路徑
| 階段 | 技術重點 | 驅動需求 |
|---|---|---|
| 第一代 | 基礎扇出 + 單層 RDL | 移動 SoC 小型化 |
| 第二代(InFO_oS) | 多層 RDL + 多晶片整合 | HPC 多晶片封裝需求 |
| 未來方向 | 更高密度 RDL、混合鍵合整合、更大封裝面積 | AI 算力持續增長 |
技術路線對比
先進封裝技術量化對比架構
| 引數維度 | 標準 InFO | InFO_oS | CoWoS-S | CoWoS-L/R | 備註 |
|---|---|---|---|---|---|
| 中介層型別 | 無 | 無(有機 RDL) | 矽中介層 | 有機/矽橋 | — |
| RDL 層數 | 少 | 多 | 矽中介層內互連 | 混合 | 具體層數未充分揭露 |
| 線寬/線距 | 較大 | 中等 | 高密度 | 高密度 | 具體數值廠商未公開確認 |
| 可支援封裝面積 | 小 | 中到大 | 中等(受矽中介層限制) | 大 | CoWoS-R/L 支援更大面積 |
| HBM 支援 | 不適用 | 支援(數量未確認) | 支援(多堆疊) | 支援(更多堆疊) | InFO_oS 具體 HBM 容量未公開 |
| 成本 | 低 | 中 | 高 | 中高 | InFO_oS 成本優勢源於無矽中介層 |
| 產能彈性 | 高 | 較高 | 受限 | 較高 | CoWoS-S 受矽中介層供應限制 |
| 典型應用 | 移動 AP | HPC 網路/AI 推論 | AI 訓練旗艦 GPU | 新一代 AI/HPC | — |
資料口徑說明: 上述對比為技術架構層面的定性比較。具體規格引數(如精確線寬、互連密度、封裝尺寸上限)屬於廠商機密或未充分公開,表中標註”未確認”的專案不編造數字。
決策矩陣:何時選擇 InFO_oS?
需求高
↑
互連密度 │ ┌─────────────┐
│ │ CoWoS-S │ ← 旗艦 AI 訓練
│ │ (最高密度) │
│ └─────────────┘
│
│ ┌─────────────┐
│ │ InFO_oS │ ← HPC/網路/AI 推論
│ │ (中高密度) │
│ └─────────────┘
│
│ ┌─────────────┐
│ │ 標準 InFO │ ← 移動裝置
│ │ (基礎密度) │
│ └─────────────┘
│
需求低 ──────────────────────→ 成本高
上下游
產業鏈全景
┌──────────────────────────────────────────────────────────────────────┐
│ 上 遊 │
├──────────────────────────────────────────────────────────────────────┤
│ 晶圓製造 │ 封裝裝置 │ 封裝材料 │
│ (晶片供應) │ │ │
│ │ • 光刻裝置 │ • RDL 介質材料 │
│ • TSMC │ • 蝕刻裝置 │ • 模塑膠(EMC) │
│ • Samsung │ • 貼片機 │ • 底部填充材料 │
│ • 其他 │ • 電鍍裝置 │ • 焊料/凸塊材料 │
│ │ • 檢測裝置 │ • 有機基板 │
├──────────────────────────────────────────────────────────────────────┤
│ 中 遊 │
├──────────────────────────────────────────────────────────────────────┤
│ │ 台積電(TSMC) │
│ │ —— InFO_oS 技術持有者 + 製造商 │
│ │ │
│ │ 其他封裝廠可能提供類似扇出方案(但非 InFO_oS) │
│ │ • ASE/日月光 │
│ │ • Amkor/安靠 │
│ │ • 通富微電等 │
├──────────────────────────────────────────────────────────────────────┤
│ 下 遊 │
├──────────────────────────────────────────────────────────────────────┤
│ AI/HPC 晶片設計公司 │ 終端應用 │
│ │ │
│ • NVIDIA(GPU) │ • 資料中心 AI 訓練/推論 │
│ • AMD(CPU/GPU) │ • 高效能網路交換 │
│ • Google(TPU) │ • 電信基礎設施 │
│ • 各類 AI ASIC 設計商 │ • 自動駕駛計算平台 │
└──────────────────────────────────────────────────────────────────────┘
關鍵供應商(按環節)
| 環節 | 代表廠商 | 備註 |
|---|---|---|
| 封裝基板 | 欣興電子、揖斐電(Ibiden)、新光電氣 | 高階有機基板供應 |
| RDL 材料 | 多家日系/美系材料商 | 具體供應商未充分揭露 |
| 封裝裝置 | ASML(光刻)、DISCO(切割)、ASM Pacific(貼裝) | 裝置與前道有重疊 |
| 模塑膠 | 住友電木、長瀨等 | 環氧模塑膠(EMC) |
關鍵指標
InFO_oS 效能評估架構
由於具體規格屬於廠商機密,以下為評估架構和行業理解:
| 指標類別 | 關鍵引數 | InFO_oS 定性表現 | 對標參照 |
|---|---|---|---|
| 互連密度 | RDL 線寬/線距、層數 | 中高(低於矽中介層方案) | CoWoS-S > InFO_oS > 標準 InFO |
| 封裝面積 | 最大可支援尺寸 | 較大(定性) | 具體上限未公開 |
| 頻寬 | 晶片間互連頻寬 | 取決於 RDL 設計 | 需結合具體產品 |
| 功耗 | 互連層寄生引數 | 優於 CoWoS(無矽中介層 TSV 損耗) | 定性判斷 |
| 良率 | 大面積封裝良率 | 需要持續最佳化 | 行業估算良率是成本關鍵 |
| 成本 | 單位封裝成本 | 低於 CoWoS-S(定性) | 無矽中介層為主要成本優勢 |
行業關注的關鍵規格問題
-
InFO_oS 最多能支援多少 HBM 堆疊?
- 未充分公開,需參考具體產品設計
- 行業資訊表明可支援一定數量的 HBM(具體取決於封裝面積和 RDL 設計)
-
InFO_oS 的互連密度能否滿足下一代 AI 晶片需求?
- 取決於 AI 晶片的具體頻寬要求
- 對於推論晶片和中端訓練晶片可能足夠
- 旗艦訓練晶片可能仍需 CoWoS 級別
供需與市場資料
先進封裝市場趨勢(定性)
市場需求驅動因素:
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AI 訓練/推論需求爆發
↓
高效能晶片出貨量增長
↓
先進封裝需求大幅增長
↓
CoWoS 產能持續緊張
↓
InFO_oS 作為替代/補充方案受到關注
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
供需格局
| 維度 | 現狀(定性) | 趨勢 |
|---|---|---|
| 需求側 | AI/HPC 晶片對先進封裝需求強勁 | 隨 AI 算力增長持續擴大 |
| 供給側 | 台積電為主要供應商,產能擴張中 | 多家廠商版面配置先進封裝產能 |
| 產能瓶頸 | 先進封裝整體產能緊張 | 各廠商積極擴產 |
| InFO_oS 定位 | CoWoS 產能緊張時的補充方案 | 可能獲得更多設計採納 |
市場資料說明
重要提示: InFO_oS 作為台積電內部技術分類,其具體營收貢獻、產能利用率、市場份額等資料未在公開財報中單獨揭露。以下為行業層面的定性判斷:
- 先進封裝整體市場處於高景氣度
- 台積電先進封裝業務(含 CoWoS、InFO 系列等)營收佔比持續提升
- InFO_oS 的具體市場規模需參考第三方行業報告
代表公司與資本對映
核心參與者
| 角色 | 公司 | 與 InFO_oS 關係 | 資本市場標的 |
|---|---|---|---|
| 技術持有者/製造商 | 台積電(TSMC) | InFO_oS 技術開發者和主要製造商 | TSM(NYSE)、2330.TW |
| 設計需求方 | AMD | 可能採用 InFO_oS 進行部分產品封裝 | AMD(NASDAQ) |
| 設計需求方 | 其他 HPC 晶片設計商 | 根據產品需求選擇封裝方案 | 各自上市標的 |
| 封裝基板供應 | 欣興電子、揖斐電 | 供應 InFO_oS 所需有機基板 | 3037.TW、4062.T |
| 封裝裝置 | ASML、DISCO、ASM Pacific 等 | 供應制造裝置 | ASML、6146.T、0522.HK |
投資產業鏈視角
InFO_oS 產業鏈投資邏輯:
台積電(TSMC)← 核心受益方,技術壁壘最高
│
├── 封裝裝置商 ← 資本支出受益
│
├── 封裝材料商 ← 需求增長
│
├── 封裝基板商 ← 高階基板需求提升
│
└── 下游設計商 ← 獲得更多封裝方案選擇
投資邏輯
InFO_oS 的投資意義
1. 台積電先進封裝護城河的一部分
- InFO_oS 是台積電先進封裝技術矩陣的重要組成
- 技術積累和製造經驗構成競爭壁壘
- 與 CoWoS 形成互補,覆蓋不同效能-成本區間
2. 解決 AI 算力瓶頸的路徑之一
- AI 晶片對先進封裝的需求持續增長
- CoWoS 產能擴張有物理和時間限制
- InFO_oS 可能在特定場景分擔需求
3. 成本敏感市場的潛在增長點
- 不是所有應用都需要旗艦級 CoWoS 封裝
- AI 推論、網路處理器等場景對成本更敏感
- InFO_oS 提供價效比更優的方案
投資關注點
| 關注維度 | 關鍵問題 |
|---|---|
| 技術演進 | InFO_oS 的互連密度能否跟上晶片需求增長? |
| 產能擴張 | 台積電先進封裝產能擴張節奏如何? |
| 設計採納 | 哪些晶片產品會採用 InFO_oS? |
| 競爭格局 | 其他封裝廠的類似方案是否有競爭力? |
| 定價能力 | InFO_oS 的相對定價和盈利能力如何? |
風險因素
- 技術迭代風險: 若 CoWoS 或其他方案成本大幅下降,InFO_oS 定位可能受擠壓
- 需求波動: AI 投資週期性可能影響先進封裝需求
- 競爭風險: 其他封裝廠發展類似扇出技術
- 資訊不對稱: InFO_oS 具體技術細節和商業資料不透明
常見誤讀糾偏
誤讀 1:InFO_oS 是 CoWoS 的替代品
糾偏: InFO_oS 和 CoWoS 是互補關係,非替代關係。兩者針對不同效能-成本區間:
- CoWoS(尤其 CoWoS-S): 最高互連密度,適用於旗艦 AI 訓練晶片(如高階 GPU + 多堆 HBM)
- InFO_oS: 中高互連密度,適用於對成本更敏感或互連需求相對較低的 HPC/網路/推論場景
兩者的選擇取決於具體晶片設計的互連需求、功耗預算和成本目標,不是簡單的”升級/降級”關係。
誤讀 2:InFO_oS 沒有矽中介層所以效能很差
糾偏: “無矽中介層”不等於”效能差”。需要區分:
- 矽中介層的價值: 提供極高密度的互連(奈米級線寬),支援 TSV 垂直互連
- RDL 的演進: 現代多層 RDL 技術已能提供相當高的互連密度(微米級線寬),對許多 HPC 應用已足夠
- 設計權衡: 無矽中介層帶來的成本降低和產能靈活性提升,對某些應用是更優選擇
關鍵問題不是”有沒有矽中介層”,而是”互連密度是否滿足特定晶片設計需求”。
誤讀 3:扇出封裝技術門檻低,各家廠商方案差異不大
糾偏: 扇出封裝技術(Fan-Out)看似概念簡單,但實際製造難度很高:
- 重構晶圓工藝: 多顆裸片的精確放置、間距控制
- 多層 RDL 對準: 層數越多、線寬越細,對準精度要求越高
- 翹曲控制: 大面積封裝的翹曲管理是核心技術難題
- 良率管理: 高密度扇出封裝的良率直接影響成本
台積電在 InFO 技術上積累了多年量產經驗,技術成熟度和良率管理能力構成競爭壁壘。其他廠商的類似方案在成熟度和效能表現上可能存在差異。
誤讀 4:InFO_oS 的具體規格可以隨意引用
糾偏: InFO_oS 的詳細技術規格(線寬/線距、層數、最大封裝面積、支援 HBM 數量等)屬於台積電機密資訊,未在公開渠道充分揭露。行業報告中的資料多為估算或推斷,不能直接引用為確定規格。
引用 InFO_oS 相關資料時,必須區分:
- 官方確認的資訊: 來自台積電財報、官方技術釋出
- 行業估算: 需標註”行業估算”或”第三方報告”
- 未充分揭露: 明確標註,不編造數字
學習路徑
入門階段(建立基礎認知)
Week 1-2: 封裝技術基礎
├── 瞭解封裝在半導體產業鏈中的位置
├── 學習基本封裝型別(BGA、QFP、CSP 等)
├── 理解為什麼需要先進封裝(摩爾定律放緩、chiplet 趨勢)
└── 推薦資源:台積電官網封裝技術介紹、各券商半導體封裝研究報告
Week 3-4: 扇出封裝技術入門
├── 理解 Fan-Out vs Fan-In 的區別
├── 學習 InFO 技術的基本原理
├── 瞭解 RDL(重佈線層)的概念和作用
└── 推薦資源:IEEE/ECTC 會議論文綜述、ASE/Amkor 技術白皮書